真空泵轉換能量時，總有一小部分損耗轉化為熱量，這些熱量必須通過電機外殼和周圍介質不斷散發。這種散熱過程稱為冷卻。而且真空泵工作時會產生一定的熱量。如果不及時散熱，時間長了真空泵內部零件會受到影響甚至損壞。這會影響風扇的正常運轉，甚至損壞風扇。
真空泵是否能有大量的油污染。事實上，真空泵在許多國家被廣泛使用行業。特別是，當氣鎮油封機械清除可冷凝蒸汽的能力不夠，或者使用的溶劑會使泵油變質并影響其性能，或者真空系統不允許油污染。所以真空泵不能有大量的油污。
真空泵的冷卻方案有很多，根據機體不同部位的發熱量確定合適的冷卻方案。比如真空泵工作壓力高，溫度上升快，高，普通真空泵需要循環水降溫，保護風扇不受損壞。
真空泵的散熱和冷卻技巧有四個要點：
1、空氣冷卻：即級間或兩級泵吸入的空氣被壓縮后通過綜合吸收和相位差的組合消聲器傳遞。
2、轉子的內部冷卻：為了使真空泵在更高的壓差下工作，可以采用更有效的冷卻方法，即將輸送到子用循環的油冷卻，在真空機組軸的兩端分別打入油孔和油徑軸頭，然后通過轉子內壁從另一端排出
3、轉子油膜冷卻：這種冷卻方法是在真空泵入口處接一根油管，用均勻滴下的冷卻油帶走轉子的熱量。
4、冷卻：真空泵由于輸送和壓縮氣體而產生熱量，這些熱量必須從轉子傳遞到外殼并消散。
